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陈云，解释，博士生导师
省部共建精密电子制造技巧与装备国度重心履行室
广东工业大学 机电工程学院 科研副院长
机械电子工程系第一党支部(广东样板党支部) 布告
邮箱：chenyun@gdut.edu.cn
【简介】
主要从预先进电子封装工艺与装备、半导体湿法刻蚀加工技巧与器件、激光加工技巧与装备等标的策划。主执国度当然科学基金优秀后生科学基金花式、国度重心研发决策花式、国度当然科学基金面上花式、GF紧要工程花式、中央军委装备预研鸿沟基金、广东省重心研发决策花式等科研花式近20项。在科学出书社出书专著1部，发表SCI论文70多篇，其中第一作家或通信作家在Nature Communications、Advanced Materials、Small、Nano Letters等海外专科期刊上发表40篇；获发明专利授权130多件，其中第一发明东谈主获好意思国发明专利授权11件、中国发明专利授权74件。担任SCI 1区期刊International Journal of Extreme Manufacturing后生编委、广东省半导体装备及零部件学会副理事长等。获国度科技逾越二等奖（2023，排行第三）、广东省技巧发明一等奖（2023，排行第二）、中国机械工业科学技巧一等奖（2022，排行第二）、广东专利金奖（2022，排行第二）、湖南省优秀博士论文（2017）、高级学校科学策划优秀效果奖（科学技巧）一等奖（2015，排行第五）、广东省科技逾越一等奖（2018，排行第六）、机械工业纠合会科技逾越二等奖（2018，排行第九）、香江学者年会最好海报奖（2019）等。入选国度优青（2024）、广东省科技改变后生拔尖东谈主才决策（2022）、香江学者决策（2017）。
【训诲布景与责任阅历】
露出twitterØ 2021/01~于今，广东工业大学，机电工程学院，解释
Ø 2018/01~2020/12，广东工业大学，机电工程学院，副解释
Ø 2017/11~2019/11，香港汉文大学，工学院，香江学者决策
Ø 2015/01~2017/12，广东工业大学，机电工程学院，讲师
Ø 2016/07~2017/07，好意思国佐治亚理工学院，探望学者
Ø 2013~2014，香港城市大学，系统工程与工程科罚，策划助理
Ø 2009/09~2014/07，中南大学，机械工程，硕博连读
Ø 2005/09~2009/06，中南大学，机械缱绻制造偏执自动化，本科
【代表性科研花式】
(1)国度当然科学基金优秀后生基金花式，半导体湿法刻蚀，52422511，2025/01-2027/12，主执
(2)国度重心研发决策花式，Mini LED 巨量滚动用高速机器东谈主要津技巧与利用示范，2022YFB4701000，2022/11-2025/10，主执
(3)GF紧要工程花式，******匹配技巧策划，2024/03-2025/12，主执
(4)国度当然科学基金面上花式，第三代半导体纳米结构的电场/金属援手湿法刻蚀加工新方法策划，51975127，2020/01-2023/12，主执
(5)国度当然科学基金后生基金花式，外力率领式化学刻蚀加工新方法制造皮升级微流体泵的基础策划，51605100，2017/01-2019/12，主执
(6)军委装备发展部鸿沟基金，超高密度引线键合技巧策划，JZX7Y20190263070501，2018/12-2020/12，主执
(7)国度“香江学者”决策，XJ2017050，完了硅在纳米级的均匀高纵横比金属援手化学蚀刻，2017/11-2019/11，主执
(8)广东省当然科学基金重心花式，2022B1515120011，集成电路玻璃通孔3D集成封装与劣势检测要津技巧，2022/10-2025/09，主执
(9)粤港澳纠合改变鸿沟花式，2020A0505140008，面向高通量制造半导体三维微纳结构的光开发湿法刻蚀技巧，2021/01-2022/12，主执
(10)广东省紧要科技专项，2019B020231001，临床用新一代测序系统的研发偏执在精确医学中的利用，2019/01-2021/12，课题进展东谈主
(11)广东省公益能力花式，2016A010102016，面向高性能白光LED封装的高质地粉胶分拨要津技巧策划，2016/01-2018/12，主执
(12)广东省后生拔尖东谈主才花式，2021TQ06Z128，2022/11-2025/10，主执
(13)广州市基础与利用基础策划专题科技菁英“领航”花式，SL2024A04J01501，5nm及以下纳米通孔阵列的高精高效湿法刻蚀技巧利用基础策划，2024/01-2027/12，主执
(14)广东省当然科学基金面上花式，微流体脱手的轮换型刻蚀加工新方法制造折点纳米线阵列的基础策划，2017A030313314，2017/05-2020/04，主执
(15)广州市科学策划专项，外力率领式化学刻蚀新方法加工复杂微结构阵列的基础策划，201707010446，2017/05-2020/04，主执
(16)广州市军民交融补助花式，21ZK0355，超高密度引线键合技巧策划，主执
(17)中国工程院策略商议花式，20210429165050，电子工业后端制造装备偏执要津零部件卡脖子的要津基础和产业链的短板问题实证策划，2021/01-2021/12，干涉
(18)国度当然科学基金紧要集成花式，U20A6004，高密度器件智能制造的基础科常识题策划，2021/01-2024/12，干涉
(19)科技部973花式，2011CB013104，封装膨胀系统多参数耦合规章及复合通顺生成，2012/01-2016/12，干涉
(20)国度当然科学纠合基金，U1601202，功能微结构阵列的新式加工表面与要津技巧，2017/01-2020/12，中枢主干，排行第三
(21)广东省紧要科技专项，2018B090906002，复杂构件名义激光缜密制造工艺与装备，2019/01-2021/12，中枢主干，排行第二
(22)广东省公益能力花式，2015B010104008，细间距芯片低温三维倒装互连要津技巧策划与装备缔造，2015/09-2018/09，中枢主干，排行第三
(23)广东省当然科学基金紧要基础培育花式，2016A030308016，集成电路三维封装中互连微通谈形性协同的要津基础问题策划，2016/01-2020/12，中枢主干，排行第二
(24)广东省利用型科技研发专项资金花式，2015B010133005，LED倒装与高密度芯片模组化精确封装中枢装备研制及产业化，2015/09-2018/09，中枢主干，排行第三
(25)广东省紧要科技专项，2016B090905001，高密度超薄柔性封装基板研发与产业化，2016/01-2018/12，干涉
【学术奖励】
(1)面向高性能芯片的高密度互连封装制造要津技巧及装备，国度科技逾越二等奖，2023（排行3/10）
(2)电子器件高密度封装的眇小阵列制造要津技巧与装备，广东省发明一等奖，2023（排行2/15）
(3)多芯片高密度集成的电子基板高精高效制造要津技巧与利用，中国机械工业科学技巧科技逾越一等奖，2022（排行2/15）
(4)一种各异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法，广东专利金奖，2022（排行2/7）
(5)三维窄节距、大跨度互连封装的要津技巧与利用，高级学校科学策划优秀效果奖（科学技巧）一等奖，2015（排行5/11）
(6)高端电子基板多品种高精高效制造中枢装备、要津工艺及系统集成，广东省科技逾越一等奖，2018（排行6/15）
(7)面向点位操作的高速精密测量与定位要津技巧及利用，中国机械工业科学技巧逾越二等奖，2018（排行9/10）
(8)引线成形能源学经由履行与建模策划，湖南省优秀博士论文，2017（排行1）
(9)Engineering the Nanowire Geometry by Metal Assisted Chemical Etching Method，香江学者年会最好海报奖，2019（排行1/1）
【代表性论著】
1)陈云、陈新 著，半导体湿法刻蚀加工技巧，科学出书社，2023
2)Yun Chen， Yuanhui Guo， Bin Xie， Fujun Jin， Li Ma， Hao Zhang， Yihao Li， Xin Chen*， Maoxiang Hou， Jian Gao， Huilong Liu， Yu-Jing Lu*， Ching-Ping Wong， Ni Zhao*， Lightweight and drift-free magnetically actuated millirobots via asymmetric laser-induced graphene， Nature Communications， 2024， 15: 4334
3)Yun Chen， Bin Xie， Junyu Long， Yicheng Kuang， Xin Chen*， Maoxiang Hou， Jian Gao， Shuang Zhou， Bi Fan， Yunbo He， Yuan-Ting Zhang， Ching-Ping Wong*， Zuankai Wang*， Ni Zhao*. Interfacial Laser-Induced Graphene Enabling High-Performance Liquid-Solid Triboelectric Nanogenerator， Advanced Materials， 2021， 33， 2104290
4)Yun Chen， Liyi Li， Cheng Zhang， Chia-Chi Tuan， Xin Chen*， Jian Gao， Ching-Ping Wong*. Controlling Kink Geometry in Nanowires Fabricated by Alternating Metal-Assisted Chemical Etching. Nano Letters， 2017， 17(2): 1014–1019
5)Yun Chen， Cheng Zhang， Liyi Li， Chia-Chi Tuan， Fan Wu， Xin Chen*， Jian Gao， Yong Ding， Ching-Ping Wong*， Fabricating and Controlling Silicon Zigzag Nanowires by Diffusion-Controlled Metal-Assisted Chemical Etching Method. Nano Letters， 2017， 17(7): 4304-4310
6)Yun Chen， Yicheng Kuang， Dachuang Shi， Maoxiang Hou， Xin Chen*， Lelun Jiang， Jian Gao， Lanyu Zhang， Yunbo He， Ching-Ping Wong*， A triboelectric Nanogenerator Design for Harvesting Environmental Mechanical Energy from Water Mist， Nano Energy， 2020， 73， 104765
7)Yun Chen， Cheng Zhang， Liyi Li， Shuang Zhou， Xin Chen*， Jian Gao， Ni Zhao*， Ching-Ping Wong*， Hybrid Anodic and Metal-Assisted Chemical Etching Method Enabling Fabrication of Silicon Carbide Nanowires， Small， 2019， 15(7)， e1803898
8)Yun Chen， Junyu Long， Shuang Zhou， Dachuang Shi， Yan Huang， Xin Chen*， Jian Gao， Ni Zhao*， Ching-Ping Wong*， UV Laser-Induced Polyimide-to-Graphene Conversion: Modeling， Fabrication and Application， Small Methods， 2019(3): 1900208
9)Yun Chen， Junyu Long， Bin Xie， Yicheng Kuang， Xin Chen*， Maoxiang Hou， Jian Gao， Huilong Liu， Yunbo He， Ching-Ping Wong*， One-step Ultraviolet Laser-Induced Fluorine-Doped Graphene Achieving Superhydrophobic Properties and Its Application in Deicing， ACS Applied Materials & Interfaces， 2022， 14(3)， 4647–4655
10)Yun Chen， Yanhui Chen， Junyu Long， Dachuang Shi， Xin Chen， Maoxiang Hou， Jian Gao， Huilong Liu， Yunbo He， Bi Fan， Ching-Ping Wong， Ni Zhao. Achieving a Sub-10 Nm Nanopore Array in Silicon by Metal-Assisted Chemical Etching and Machine Learning. International Journal of Extreme Manufacturing， 2021， 3(3): 35104
11)Yun Chen*， Han-xiong Li， Xiuyang Shan， Jian Gao， Xin Chen， Fuliang Wang. Ultrasound Aided Smooth Dispensing for High Viscoelastic Epoxy in Microelectronic Packaging. Ultrasonics Sonochemistry， 2016(28): 15-20
12)Yun Chen， Zuohui Liu， Hengxu Wu， Maoxiang Hou， Li Ma*， Zhiming Xiao and Xin Chen. Highly Ordered Bamboo-like 4H-SiC Nanowire Array Enabling Low Turn-on Field and Excellent Field Emission Stability， IEEE Transactions on Electron Devices， 2024， 71(4):2830-2834
13)Dachuang Shi#， Yun Chen#*， Yao Yao， Maoxiang Hou， Xin Chen， Jian Gao， Yunbo He， Guoping Zhang， Ching-ping Wong*. Ladderlike Conical Micropillars Facilitating Underwater Gas-Bubble Manipulation in an Aqueous Environment. ACS Applied Materials & Interfaces， 2020， 12(37): 42437-42445
14)Dachuang Shi， Yun Chen*， Zijian Li， Shankun Dong， Liyi Li， Maoxiang Hou， Huilong Liu， Shenghe Zhao， Xin Chen， Ching-Ping Wong， Ni Zhao*， Anisotropic charge transport enabling high-throughput and high-aspect-ratio wet etching of silicon carbide， Small Methods， 2022， 6: 2200329
15)Yihao Li， Junyu Long， Yun Chen*， Yan Huang*， Ni Zhao*， Crosstalk-free， high-resolution pressure sensor arrays enabled by high-throughput laser manufacturing， Advanced Materials， 2022， 34: 202200517
16)Dachuang Shi， Yun Chen*， Xun Chen， Xin Chen， Jian Gao， Yunbo He， Ching-ping Wong*. Ladder-like tapered pillars enabling spontaneous and consecutive liquid transport. ACS Applied Materials & Interfaces， 2018， 10(40): 34735-34743
17)Bin Xie; Yuanhui Guo; Yun Chen*; Xiangyuan Luo; Hao Zhang; Junyu Long; Guanhai Wen; Maoxiang Hou; Huilong Liu; Li Ma; Xin Chen， Dual-indicators machine learning assisted processing high-quality laser-induced fluorine-doped graphene and its application on droplet velocity monitoring sensor， Carbon， 2024， 226:119231
18)Li Ma， Yanhui Chen， Yun Chen*， Maoxiang Hou， Xin Chen， Ching-Ping Wong， Yan Niu， Minghui Yao， Interfacial Stress and Crack Propagation Experimental Study in Mini-LED Chip Debonding， International Journal of Mechanical Sciences， 2024， 276:109384
19)Huilong Liu， Zhijian Sun， Yun Chen*， Wenjun Zhang*， Xin Chen*， Ching-Ping Wong*， Laser processing of flexible in-plane micro-supercapacitors: Progresses in advanced manufacturing of nanostructured electrodes， ACS Nano， 2022， 16(7): 10088-10129
20)Huilong Liu， Yixin Zheng， Kyoung-sik Moon， Yun Chen*， Dachuang Shi， Xin Chen*， Ching-Ping Wong*， Ambient-air in situ fabrication of high-surface-area， superhydrophilic， and microporous few-layer activated graphene films by ultrafast ultraviolet laser for enhanced energy storage， Nano Energy， 2022(94)， 106902
21)Jian Wang， Shengzhu Yi， Zhilun Yang， Yun Chen*， Lelun Jiang*， Ching-Ping Wong， Laser Direct Structuring of Bioinspired Spine with Backward Micro-barbs and Hierarchical Microchannels for Ultrafast Water Transport and Efficient Fog Harvesting， ACS Applied Materials & Interfaces， 2020， 12(18): 21080-21087
22)Lelun Peng， Yuanxi Zhang， Jian Wang， Qingyuan Wang， Guizhou Zheng， Yuanyuan Li， Zhipeng Chen， Yun Chen*， Lelun Jiang*， Ching-Ping Wong. Slug-inspired Magnetic Soft Millirobot Fully Integrated with Triboelectric Nanogenerator for On-board Sensing and Self-powered Charging， Nano Energy， 2022， 99: 107367
23)Maoxiang Hou， Neng Wang， Yun Chen*， Zhengping Ou， Xin Chen， Fangcheng Shen， Jiang， Haiming*， Laser-induced graphene coated hollow-core fiber for humidity sensing. Sensors and Actuators B: Chemical， 2022， 359: 131530
24)Maoxiang Hou， Yixuan Bu， Yun Chen*， Yuanhui Guo， Guanhai Wen， Xin Chen， Fast-printed laser-induced-graphene pattern enabling directional thermal manipulation. International Journal of Heat and Mass Transfer， 2022， 197: 123303
25)Maoxiang Hou， Guanhai Wen， Jintao Chen， Bin Xie， Lu Yan， Yun Chen⁎， Xin Chen， Laser induced graphene based high-accurate temperature sensor with thermal meta-shell encirclement. International Journal of Heat and Mass Transfer， 2023， 217， 124719
26)Maoxiang Hou， Zhengping Ou， Junyu Long， Shuquan Ding， Guanhai Wen， Yun Chen*， Xin Chen， Machine learning enables accurate wire loop profile prediction for advanced microelectronics packaging， Journal of Manufacturing Processes， 2022， 84: 394-402
【代表性授权发明专利】
1)Yun Chen， Shengbao Lai， Biao Li， Zuohui Liu， Guanhai Wen， Maoxiang Hou， Xin Chen， Silicon carbide (SiC)-loaded graphene photocatalyst for hydrogen production under visible light irradiation and preparation thereof， US11969716B2， 2024/4/30(好意思国)
2)Yun Chen， Biao Li， Aoke Song， Shankun Dong， Shengbao Lai， Maoxiang Hou， Xin Chen， Film vibration device and fabrication method thereof and cleaning device including the same， US11969771B2， 2024/04/30(好意思国)
3)Yun Chen， Pengfei Yu， Aoke Song， Zijian Li， Maoxiang Hou， Xin Chen; Method for Manufacturing Core-Shell Coaxial Gallium Nitride (GaN) Piezoelectric Generator， US11963450B2， 2024/4/16(好意思国)
4)Yun Chen， Yuanhui Guo， Bin Xie， Lu Yan， Maoxiang Hou， Xin Chen， Magnetically Controlled Graphene-Based Micro-/Nano- Motor and Fabrication Method thereof， US11745160B2， 2023/09/05(好意思国)
5)Yun Chen， Yuanxiang Luo， Shuquan Ding， Canguang Lin， Zenguang Gao， Xin Chen， Xun Chen， Jian Gao， Method and device for preparing graphene-based polyethylene glycol phase change material， 2022/05/24， US11339316B1(好意思国)
6)Yun Chen， Yuanhui Guo， Yixuan Bu， Shuquan Ding， Shengyu Hou， Junyu Long， Xun Chen， Xin Chen， Jian Gao， Method for Producing Graphene Film with Thermal Management Function， 2022/05/17， US11331689B1(好意思国)
7)Yun Chen， Shuquan Ding， Yunbo He， Maoxiang Hou， Xin Chen， Jian Gao， Ni Zhao， Lanyu Zhang ， et al， Method for processing an ultra-high density space interconnect lead under light source guidance， 2021/12/28， US11，211，357B2(好意思国)
8)Yun Chen， Long Junyu， Shuang Zhou， Xin Chen， Jian Gao， Qiang Liu， et al. Method and Device for Processing Microstructure Arrays of Polystyrene-Graphene Nanocomposites， 2020/12/01， US10，850，304B2(好意思国)
9)Yun Chen， Dachuang Shi， Xin Chen， Qiang Liu， Jian Gao， et al， Mass Transfer Method for Micro-Leds With a Temperature controlled Adhesive Layer， 2020/09/22， US10，784，400B2(好意思国)
10)Yun Chen， Xin Chen， Dachuang Shi， Xun Chen， Qiang Liu， Jian Gao， Chengqiang Cui. Method for Synchronous Electroplating Filling of Differential Vias and Electroplating Device Implementing Same， 2019/11/26， US10，487，411B1(好意思国)
11)Yun Chen， Xin Chen， Dachuang Shi， Jian Gao， et al， Method of Processing Nano-and Micro-Pores， 2019/10/01， US10，427，936B2(好意思国)